• 偏移壽命漂移值業(yè)內(nèi)居先，低于0.5mg。

• 低噪聲，能夠準確檢測微小動作。

• 具備良好的抗振動和抗溫度變化能力，可在惡劣環(huán)境下穩(wěn)定運行。

• 配備可實時監(jiān)控傳感器狀態(tài)的自診斷功能。

• 與村田以往產(chǎn)品采用相同尺寸和輸出方式，便于客戶減少額外設(shè)計工時。

株式會社村田制作所 (TOKYO:6981)（以下簡稱“村田”）開發(fā)出了面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸MEMS(1)加速度傳感器“SCA3400系列”（以下簡稱“本產(chǎn)品”）。本產(chǎn)品在長期使用下的傳感器輸出變化值（偏移壽命漂移(2)）低于0.5mg（毫伽），屬于業(yè)內(nèi)居先水平(3)。本產(chǎn)品具備高度耐久性，有助于提升橋梁、建筑等結(jié)構(gòu)物劣化監(jiān)測設(shè)備的可靠性。預(yù)計將于2025年10月開始量產(chǎn)。

(1) MEMS（微型電子機械系統(tǒng)）：通過對硅片等材料的精細加工，制造出傳感器結(jié)構(gòu)和電子電路的技術(shù)。

(2) 偏移壽命漂移：指傳感器在使用期間輸出數(shù)值發(fā)生偏移的現(xiàn)象。該數(shù)值越高，偏移越大。

(3) 數(shù)據(jù)來源：村田，截至2025年6月23日。

隨著工業(yè)設(shè)備的數(shù)字化，自動檢測結(jié)構(gòu)物和機械設(shè)備等異�；驌p傷、實現(xiàn)預(yù)測性維護的需求不斷增長。通過傳感器進行變化檢測是實現(xiàn)自動化的重要方式之一。尤其在對橋梁、建筑等進行結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測時，需要進行長期監(jiān)控，因此，能夠準確捕捉結(jié)構(gòu)物微小形變或變化的加速度傳感器性能，會直接影響整個監(jiān)測系統(tǒng)的可靠性。然而，傳統(tǒng)能夠檢測細微傾斜的高精度加速度傳感器，其偏移壽命漂移值較高，使用時間一長，基準位置偏移就會增大，導(dǎo)致難以準確監(jiān)測結(jié)構(gòu)物的劣化。

對此，村田通過自主研發(fā)的MEMS工藝與新型電路設(shè)計，開發(fā)出了既可檢測微小傾斜、又將偏移壽命漂移值控制在0.5mg以下的本產(chǎn)品。借此，有助于提升結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測等系統(tǒng)的長期高精度測量能力。本產(chǎn)品還具備出眾的抗振動和抗溫度變化能力，即使在惡劣環(huán)境下的工業(yè)設(shè)備中，也可實現(xiàn)長期穩(wěn)定使用。

今后，村田將繼續(xù)致力于高精度加速度傳感器的研發(fā)，滿足多樣化的市場需求。

主要特點

偏移壽命漂移值業(yè)內(nèi)居先，低于0.5mg。

低噪聲，能夠準確檢測微小動作。

具備良好的抗振動和抗溫度變化能力，可在惡劣環(huán)境下穩(wěn)定運行。

配備可實時監(jiān)控傳感器狀態(tài)的自診斷功能。

與村田以往產(chǎn)品采用相同尺寸和輸出方式，便于客戶減少額外設(shè)計工時。

主要參數(shù)

尺寸（長×寬×高）

8.6 x 7.6 x 3.3 mm

工作溫度范圍

-40℃ ~ +85°C

加速度測量范圍

±1.2g, ±2.4g （可選）

靈敏度

15,000 LSB/g

噪聲密度

20 µg/√Hz

偏移壽命漂移（典型值）

≤ 0.5mg (X,Y), ≤ 2mg (Z)

靈敏度壽命漂移（典型值）

±0.02 % (X,Y), ±0.2% (Z)

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關(guān)于村田制作所

村田制作所是一家全球性的綜合電子元器件制造商，主要從事以陶瓷為基礎(chǔ)的電子元器件的開發(fā)、生產(chǎn)和銷售業(yè)務(wù)。致力于通過自身開發(fā)積累的材料開發(fā)、工藝開發(fā)、商品設(shè)計、生產(chǎn)技術(shù)以及對它們提供支持的軟件和分析評估等技術(shù)基礎(chǔ)，創(chuàng)造獨特產(chǎn)品，為電子社會的發(fā)展做出貢獻。

【株式會社村田制作所】 面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸MEMS加速度傳感器

【株式會社村田制作所】 面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸MEMS加速度傳感器